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发布日期：2024-04-13
石英挠性加速度计镀膜摆片 / Quartz flexible accelerometer Coating film
石英摆片是石英挠性加速度计的核心器件, 起敏感加速度的作用,材料为远红外光学石英玻璃, 具有线膨胀系数小、低能耗、高的化学稳定性等特点。
Quartz pendulum is the core component of the quartz flexible accelerometer. It has the function of sensitive acceleration. The material is the far infrared optical quartz glass. It has the characteristics of small linear expansion coefficient, low energy consumption, high chemical stability and so on.
石英镀膜摆片技术参数 / Technical parameters of quartz film coating
技术参数 Fertures | Φ15.6mm |
镀膜摆片厚度 Film thickness | 0.6±0.02mm |
镀膜摆片直径 Coated swing plate diameter | Φ15.6±0.01mm |
镀膜摆片平面度 Film coated swing | ≤273nm（1个光圈） |
镀膜摆片平行度 Film parallel degree | ≤0.002mm |
镀膜摆片表面粗糙度 Surface roughness | ≤0.05um |
镀膜摆片凸台高度 Plate height of film | 0.018～0.021mm |
镀膜摆片下垂量 Drop of film | 1.4～1.9mm |
镀膜摆片对称度 Film symmetry degree | ≤5′（0.025mm） |
镀膜摆片梁厚度 Plate thickness | 0.010～0.03mm |
镀膜摆片膜层厚度 Film thickness | 铬：0.5um±1﹪ |
镀膜摆片导通电阻 Conduction resistance | 金：0.15um±1﹪ |
| C+：≤5Ω | |
| C-：≤5Ω | |
| 力+：≤5Ω | |
| 力-：≤5Ω | |
| 中桥：≤5Ω | |
| 力桥：≤5Ω | |
| 传桥：≤5Ω | |
镀膜摆片材料 Coating material | 远紫外石英玻璃JGS1 |
